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下列5个能量选项中,哪些可能在光刻加工的曝光工艺中应用( 
时间:
2022-01-10 19:32
来源:
未知
作者:
admin
点击:
次
(多选题)15: 下列5个能量选项中,哪些可能在光刻加工的曝光工艺中应用( ) A: 电子束 B: 离子束 C: 激光束 D: 超声波 E: 等离子体
(多选题)15: 下列5个能量选项中,哪些可能在光刻加工的曝光工艺中应用( )
A: 电子束
B: 离子束
C: 激光束
D: 超声波
E: 等离子体
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